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    聯盟團體標準發布公告（一）

    聯盟團體標準發布公告（一）

    來源：
    ICMtia
    2019/04/22
    瀏覽量

    根據《團體標準管理規定》及《集成電路材料產業技術創新聯盟標準制定程序》要求，經聯盟標準委員會審議通過，現批準發布如下2項團體標準：

    T/ICMTIA 1-2019《集成電路材料產業技術創新聯盟氣體基礎規范》

    T/ICMTIA 2-2019《集成電路用過氧化氫》

     

    以上標準于2019年4月17日發布，并于2019年10月10日開始實施，特此公告。

     

    附1：《集成電路材料產業技術創新聯盟氣體基礎規范》目錄

    附2：《集成電路用過氧化氫》目錄

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    團體標準立項公告
    關于召開ICMtia—PALL聯合技術講座的通知
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